MICRO SEIKI RP1110

ＭＩＣＲＯＳＥＩＫＩ　ＲＰ１１１０．　８台目修理記録

平成２１年８月１５日到着　　平成２２年２月２８日完成　

Ａ．　修理前の状況

タンテーブルが浮かない（音が出る）

Ｓ．　修理前点検測定

Ｂ．　原因

経年劣化

Ｃ．　修理状況

Ｄ．　使用部品

新品ポンプユニット　　　　　２組

Ｅ．　調整・測定

Ｆ．　修理費　　９５，０００円

Ｓ．ＭＩＣＲＯＳＥＩＫＩ　ＲＰ－１１１０　の仕様（マニアル・カタログより）

Ａ．　修理前の状況
Ａ１１．　外観、　前から見る。

Ａ１２．　外観、　前右から見る

Ａ１３．　外観　後から見る

Ａ１４．　外観、　後から、電源入り口、吐出口見る。

Ａ１５．　外観　後左から見る

Ａ１６．　外観　上から見る

Ａ２１．　外観　下前から見る

Ａ２２．　外観　下前左から見る

Ａ２３．　外観　下後から見る

Ａ２４．　外観　下後右から見る

Ａ３１．　外観　下から見る、内部ユニット固定ネジが突き出ている。

Ａ３２．　外観　下から見る、下蓋前側「止めネジ」、外した形跡無し。

Ａ３３．　外観　下から見る、下蓋後側「止めネジ」、外した形跡無し。

Ａ４１．　外観　ダンボール箱内の下側クッション。　内部ユニット固定ネジが当たった跡がある。

Ａ４２．　外観　ダンボール箱内の下側クッション、拡大。

Ａ５１．　ダンボール箱外観、　上から見る。

Ａ５２．　ダンボール箱外観、　横上から見る。

Ａ５３．　ダンボール箱外観、　横上から見る、反対側。

Ａ５４．　ダンボール箱外観、　下から見る。

Ａ５５．　ダンボール箱外観、　横下から見る。

Ａ５６．　ダンボール箱外観、　横下から見る、反対側。

Ｓ．　修理前点検・測定
Ｓ１１．　測定中　「Ａ＝吐き出し」　の圧力測定。　低い

Ｓ１２．　測定中　「Ｂ＝吸い込」　の圧力測定。　低い

Ｓ１３．　測定中　「Ｃ＝吐き出し」　の圧力測定。　低い

Ｓ２１．　点検中　下蓋表。

Ｓ２２．　点検中　下蓋裏側。

Ｓ２３．　点検中　下蓋止めネジ。錆が発生。

Ｓ３１．　点検中　下蓋の内部ユニット固定ネジ、突き出ている。

Ｓ３２．　点検中　下蓋裏側の内部ユニット固定ネジ、曲がっている。

Ｓ３３．　点検中　内部ユニットの固定ネジが当たる部分。

Ｓ４１．　点検中　下蓋を外し、下から見る。

Ｓ４２．　点検中　ポンプケース。

Ｓ４３．　点検中　エアーチャンバー、ここで脈動を吸収する。

Ｓ５１．　点検中　ポンプケース表。

Ｓ５２．　点検中　ポンプケース裏。

Ｃ．修理状況

Ｃ１１．　修理前　「Ａ＝吐き出し用ポンプ」

Ｃ１２．　修理（交換）後　「Ａ＝吐き出し用ポンプ」　ユニット

Ｃ１３．　圧力測定中の「Ａ＝吐き出し用ポンプ」

Ｃ２１．　修理前　「Ｂ．Ｃ＝吐き出し・吸い込みポンプ」

Ｃ２２．　修理中　「Ｂ．Ｃ＝吐き出し・吸い込みポンプ」、吸引フイルター交換。　左黒色＝交換前、右白色＝交換後。

Ｃ２３．　修理（交換）後　「Ｂ．Ｃ＝吐き出し・吸い込みポンプ」　ユニット

Ｃ２４．　圧力測定中の「C＝吐き出し」

Ｃ２５．　圧力測定中の「B＝吸い込み」

Ｃ３１．　修理前　　止めネジ、錆が発生。

Ｃ３２．　修理中　　止めネジ、錆が発生。

Ｃ３３．　完成　　天日で乾燥中。

Ｃ５１．　修理前　ポンプ取り付け金具類、錆が出ている。

Ｃ５２．　修理前　ポンプ取り付け金具類、錆止めにラッカーを吹き付ける。

Ｃ６１．　修理前　接着材が劣化した圧縮板。

Ｃ６２．　修理中　圧縮板にボンドを塗って固めている

Ｃ６３．　修理前　接着材が劣化した圧縮板２。

Ｃ６４．　修理中　圧縮板にボンドを塗って固めている２．

Ｃ７１．　修理前　木ネジで割れた、「ポンプ取り付け板」。

Ｃ７２．　修理中　木ネジで割れた、「ポンプ取り付け板」、ボンドを染みこませる。

Ｃ７３．　修理前　木ネジで割れた、「ポンプ取り付け板」。

Ｃ７４．　修理中　木ネジで割れた、「ポンプ取り付け板」、ボンドを染みこませる。

Ｃ８１．　修理前　底板表。

Ｃ８２．　修理後　底板表、湿気止めにラッカーを吹き付ける。

Ｃ８３．　修理前　底板裏。

Ｃ８４．　修理後　底板裏、湿気止めにラッカーを吹き付ける。

Ｃ９１．　修理前　ヒューズ基板。

Ｃ９３．　修理前　ヒューズ基板裏。

Ｃ９４．　修理（半田補正）後　ヒューズ基板裏。

Ｃ９５．　完成ヒューズ基板裏。

ＣＡ１．　修理前　上から見る

ＣＡ２．　修理中　圧縮板にボンドを塗って固めた所。

ＣＡ３．　修理中　圧縮板にボンドを塗って固めた所、大きな割れに２回目。

ＣＡ４．　修理後　上から見る

ＣＡ５．　完成

Ｅ．　調整・測定>

Ｅ１．　圧力測定　Ａ端子

Ｅ２．　圧力測定　Ｂ端子。　C端子圧力より低いのは、調整バイバスが有る為。

Ｅ４．　Ｃ圧力が上がらない、チャンバーの漏れ修理中。

Ｅ５．　圧力測定　Ｃ端子。

Ｓ．　ＭＩＣＲＯＳＥＩＫＩ　ＲＰ－１１１０　の仕様（マニアル・カタログより）　

型名	エアーポンプ　ＲＰ-１１１０
出力エアー	エアーベアリング用１系統、バキューム用１系統、逆噴射用１系統
電源	ＡＣ１００Ｖ（５０/６０Ｈｚ）
消費電力	１０Ｗ
外形寸法	２００Ｗ×３６０Ｄ×２１７Ｈmm
総重量	６．３ｋｇ

　　　　　　　　　　　　　　　rp1110-81z